证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现中微公司（688012）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“一种真空处理设备”，专利申请号为CN9.1，授权日为2025年4月8日。
专利摘要：本实用新型揭露一种真空处理设备，包含至少两个处理腔，每个所述处理腔内设有一基座，所述基座用于承载衬底，盘绕所述基座外围设置排气区域；所述两个处理腔共用一套真空体系，所述真空体系包含一真空泵，所述真空泵具有一真空泵口；两个所述排气区域沿榜首方向的投影别离与所述真空泵口截面至少部分重合，且重合区域沿所述榜首方向上存在贯通气路。节约本钱的一起进步抽真空功率。
今年以来中微公司新取得专利授权45个，较去年同期减少了10%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研制方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。
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